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活性炭有效处理半导体生产产生的废气

2019-01-31 浦士达环保


    随着科技发展,半导体在国内的发展日渐明显,半导体材料广泛应用于制造电子,电器。也可以用来制作半导体器件和集成电路的电子材料。就像液晶电视制作,手机行业都属于半导体行业。那么在生产制作这些半导体材料时会产生一些有害气体,这些气体属于二次污染气体,会对大气污染造成一定的危害。
 
    由于半导体工艺对操作室清洁度要求极高,通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气,因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。半导体制造工艺中产生的废气如果没有经过很好的处理进行排放,将造成严重的问题,不仅影响人们的身体健康,恶化大气环境,造成环境污染的公害事件等,也会成为半导体制造中AMC污染的重要来源。
 
    在处理上采用水洗、氧化/燃烧、吸附、解离、冷凝等方法,通过研究,活性炭对这些有毒气体的清除十分有效。半导体行业再生产材料过程中,车间会存留一定的有机气体。这些气体通过安装废气处理设备,废气处理设备内装有活性炭,就可以达到净化排放标准。活性炭吸附法投资小、工艺简单,易饱和,但是必须与脱附、冷凝、焚烧等方法联用才能满足排放要求。
 
    活性炭主要时通过气相吸附净化其中的有机废气,包括废气中所含有苯,甲苯,二氧化碳等有毒物质。活性炭采用优质环保椰壳为上等原料,经系列生产工艺加工而成的一种椰壳活性炭。具有耐磨强度好、空隙发达、吸附性能高、强度高、易再生、经济耐用等优点。
 
    活性炭广泛用于有害气体的净化,废气处理,漆雾吸附等。对于化工、石化、炼焦、环保等行业的气体处理及对SO2、氯苯、辛烷、乙胺、二甲基苯、环已烷、甲醚、嗅化氢、二氧化硫、二硫化硒碳、氯乙烯、甲醇、丙酮、氧化氮等工业有害气体的净化处理。

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